作为电子厂房的装修工程设计的先导步骤，工艺设计需要在满足电子产品生产要求的前提下合理进行无尘室厂房的装修工程生产设备布局，合理确定各种公用动力设施的技术参数，做到能量消耗少、运行费用低、生产效率高和建设投资少;同时，还需要合理进行人流路线、物料运输和仓储设施的配置和布置，满足电子产品无尘室厂房的装修工程生产要求和产品生产工艺要求；此外，还应该尽可能提升生产设备的自动化水平和物料运输的自动化水平，在经济、实用、安全可靠的条件下提高生产效率。

　　生产设备的平面布局也是电子无尘室厂房的装修工程工艺设计的重要内容。电子无尘厂房形式一般有隧道式(或称港湾式)、开放式、岛形布置等。据调查表明，集成电路芯片制造用无尘室厂房的装修工程一般采用隧道式和开放式，其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂，生产设备横跨洁净生产区和设备维护区，洁净生产区对洁净度要求严格，而设备维护区的空气洁净度等级相对较低。